|
A trapezoidal cantilever density sensor based on MEMS technology |
|
|
|
Titel: |
A trapezoidal cantilever density sensor based on MEMS technology |
Auteur: |
Zhao, Li-bo Xu, Long-qi Zhang, Gui-ming Zhao, Yu-long Wang, Xiao-po Liu, Zhi-gang Jiang, Zhuang-de |
Verschenen in: |
Journal of Zhejiang University, Science C, Computers & electronics |
Paginering: |
Jaargang 14 (2013) nr. 4 pagina's 274-278 |
Jaar: |
2013 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
SP Zhejiang University Press, Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|