Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 9 van 10 gevonden artikelen
 
 
  Spectral study of HCl plasma etching of gallium arsenide
 
 
Titel: Spectral study of HCl plasma etching of gallium arsenide
Auteur: Dunaev, A. V.
Pivovarenok, S. A.
Kapinos, S. P.
Efremov, A. M.
Svettsov, V. I.
Verschenen in: Russian microelectronics
Paginering: Jaargang 40 (2011) nr. 6 pagina's 379-382
Jaar: 2011
Inhoud:
Uitgever: SP MAIK Nauka/Interperiodica, Dordrecht
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 9 van 10 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland