Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 8 van 10 gevonden artikelen
 
 
  Scanning electron microscopy used to measure the feature dimensions of a nanoscale test pattern on a silicon surface
 
 
Titel: Scanning electron microscopy used to measure the feature dimensions of a nanoscale test pattern on a silicon surface
Auteur: Gavrilenko, V. P.
Larionov, Yu. V.
Mityukhlyaev, V. B.
Rakov, A. V.
Todua, P. A.
Filippov, M. N.
Sharonov, V. A.
Verschenen in: Russian microelectronics
Paginering: Jaargang 40 (2011) nr. 6 pagina's 436-440
Jaar: 2011
Inhoud:
Uitgever: SP MAIK Nauka/Interperiodica, Dordrecht
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 8 van 10 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland