Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 2 van 18 gevonden artikelen
 
 
  Anisotropic Etching of SiO2 in High-Voltage Gas-Discharge Plasmas
 
 
Titel: Anisotropic Etching of SiO2 in High-Voltage Gas-Discharge Plasmas
Auteur: Kazanskii, N. L.
Kolpakov, V. A.
Kolpakov, A. I.
Verschenen in: Russian microelectronics
Paginering: Jaargang 33 (2004) nr. 3 pagina's 169-182
Jaar: 2004
Inhoud:
Uitgever: Kluwer Academic Publishers-Plenum Publishers, New York
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 2 van 18 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland