|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 18 gevonden artikelen
| Titel: |
Anisotropic Etching of SiO2 in High-Voltage Gas-Discharge Plasmas |
| Auteur: |
N. L. Kazanskii V. A. Kolpakov A. I. Kolpakov |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 33 (2004) nr. 3 pagina's 14 p. |
| Jaar: |
2004-05/06-/06 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic/Plenum Publishers, New York, U.S.A. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 18 gevonden artikelen
| volgende >> |