|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 99 gevonden artikelen
| Titel: |
Advances in pulsed-laser-deposited AIN thin films for high-temperature capping, device passivation, and piezoelectric-based RF MEMS/NEMS resonator applications |
| Auteur: |
Hullavarad, S. S. Vispute, R. D. Nagaraj, B. Kulkarni, V. N. Dhar, S. Venkatesan, T. Jones, K. A. Derenge, M. Zheleva, T. Ervin, M. H. Lelis, A. Scozzie, C. J. Habersat, D. Wickenden, A. E. Currano, L. J. Dubey, M. |
| Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
| Paginering: | Jaargang 35 (2006) nr. 4 pagina's 777-794 |
| Jaar: |
2006 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 99 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |