Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 44 van 48 gevonden artikelen
 
 
  The study and optimization of ICP deep etching at a low-temperature for InP solid-immersion metalens fabrication
 
 
Titel: The study and optimization of ICP deep etching at a low-temperature for InP solid-immersion metalens fabrication
Auteur: Zhu, Yicheng
Wang, Wenjuan
Zhou, Min
Qu, Huidan
Li, Guanhai
Chen, Pingping
Lu, Wei
Verschenen in: Materials science in semiconductor processing
Paginering: Jaargang 166 () nr. C pagina's p.
Jaar: 2023
Inhoud:
Uitgever: Elsevier Ltd
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 44 van 48 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland