|
As-grown donor-like traps in low-k dielectrics and their impact on intrinsic TDDB reliability |
|
|
|
Titel: |
As-grown donor-like traps in low-k dielectrics and their impact on intrinsic TDDB reliability |
Auteur: |
Tang, B.J. Croes, K. Barbarin, Y. Wang, Y.Q. Degraeve, R. Li, Y. Toledano-Luque, M. Kauerauf, T. Bömmels, J. Tőkei, Zs. De Wolf, I. |
Verschenen in: |
Microelectronics reliability |
Paginering: |
Jaargang 54 (2014) nr. 9-10 pagina's 5 p. |
Jaar: |
2014 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|