Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 5 van 25 gevonden artikelen
 
 
  Characterization of interface defects related to negative-bias temperature instability in ultrathin plasma-nitrided SiON/Si〈100〉 systems
 
 
Titel: Characterization of interface defects related to negative-bias temperature instability in ultrathin plasma-nitrided SiON/Si〈100〉 systems
Auteur: Fujieda, Shinji
Miura, Yoshinao
Saitoh, Motofumi
Teraoka, Yuden
Yoshigoe, Akitaka
Verschenen in: Microelectronics reliability
Paginering: Jaargang 45 (2005) nr. 1 pagina's 8 p.
Jaar: 2005
Inhoud:
Uitgever: Elsevier Ltd
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 5 van 25 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland