|
Dependence of thermal stability of NiSi and Ni(Pt)Si /Si on crystal orientation |
|
|
|
Titel: |
Dependence of thermal stability of NiSi and Ni(Pt)Si /Si on crystal orientation |
Auteur: |
Okubo, Kazuya Kawamura, Kazuo Akiyama, Shinich Kotaka, Yasutoshi Itani, Tsukasa Watatani, Hirofumi Yanai, Kenichi Nakaishi, Masafumi Kase, Masataka |
Verschenen in: |
MRS proceedings |
Paginering: |
Jaargang 1079 () nr. 1 pagina's xx |
Jaar: |
2008-12-01 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer International Publishing, Cham |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|