|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 6 van 31 gevonden artikelen
| Titel: |
Direct deposition of SrBi2Ta2O9 Film on IrO2 electrode using liquid source CVD method |
| Auteur: |
Eshita, Takashi Yamawaki, Hideki Miyagaki, Shinji Arimoto, Yoshihiro |
| Verschenen in: |
Integrated ferroelectrics |
| Paginering: | Jaargang 26 (1999) nr. 1-4 pagina's 103-108 |
| Jaar: |
1999-10-01 |
| Inhoud: |
SrBi2Ta2O9 (SBT) thin films were directly deposited on IrO2 electrode using liquid source CVD (LS-CVD) method. Bi deficient region in the SBT films, which existed near the conventional Pt bottom electrode, was successfully eliminated using IrO2 bottom electrode. X-ray diffraction analysis showed our SBT films on IrO2 have good crystalline quality. Satisfactory electric properties (6 μC/cm2 of 2Pr and 10-6 A/cm2 of leakage current) were obtained |
| Uitgever: |
Taylor & Francis |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 6 van 31 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |