|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 22 van 37 gevonden artikelen
| Titel: |
Laser ablation-deposited PZT thin films for piezoelectric microsensors and microactuators |
| Auteur: |
Nickles, A. S. Ramesh, R. White, R. M. Haller, E. E. |
| Verschenen in: |
Integrated ferroelectrics |
| Paginering: | Jaargang 10 (1995) nr. 1-4 pagina's 89-98 |
| Jaar: |
1995-10-01 |
| Inhoud: |
We report on growth and deposition process optimization of laser ablation-deposited Pb(Zr0.53Ti0.47)O3 thin films for application in piezoelectric microdevices. Films were grown on three different substrates: (100) cut LaAlO3 single crystals, Pt/Ti/SiO2/Si, and Pt/Ti/Si3+xN4/Si. On all three substrates, a deposition temperature of 620°C yielded perovskite films with good ferroelectric hysteresis properties. La0.5Sr0.5CoO3 bottom and top electrodes were used for all films. PZT films on Pt/Ti/SiO2/Si showed a variation of texture with film thickness. Thin membranes of PZT on Si3+xN4 were also fabricated. |
| Uitgever: |
Taylor & Francis |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 22 van 37 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |