|
Characterization of SiGe thin films using a laboratory X-ray instrument |
|
|
|
Titel: |
Characterization of SiGe thin films using a laboratory X-ray instrument |
Auteur: |
Ulyanenkova, Tatjana Myronov, Maksym Benediktovitch, Andrei Mikhalychev, Alexander Halpin, John Ulyanenkov, Alex |
Verschenen in: |
Journal of applied crystallography |
Paginering: |
Jaargang 46 (2013) nr. 4 pagina's 898-902 |
Jaar: |
2013-08-01 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
International Union of Crystallography, 5 Abbey Square, Chester, Cheshire CH1 2HU, England |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|