|
Nitrogen Induced Structural Evolution and the Resultant Optical Behavior of PECVD Derived Silicon Carbide Thin Films |
|
|
|
Titel: |
Nitrogen Induced Structural Evolution and the Resultant Optical Behavior of PECVD Derived Silicon Carbide Thin Films |
Auteur: |
Kavitha, V. S. Bute, A. Bhale, D. Sekar, V. Ghosh, S. K. Unni, N. G. Visnuprasad, A. K. Sharma, J. N. Bhardwaj, R. L. Mascarenhas, M. |
Verschenen in: |
SILICON |
Paginering: |
Jaargang 17 () nr. 9 pagina's 2041-2057 |
Jaar: |
2025-04-30 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer Netherlands, Dordrecht |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|