|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 12 van 38 gevonden artikelen
| Titel: |
Formation of Globally Uniaxial Strain in He+ Implanted Silicon-on-Insulator Wafers Based on the Size Effect of Internal Stress of Strip SiN Films |
| Auteur: |
Xu, Hao Jing, Yibo Miao, Dongming Guo, Yiwei Han, Jia Wang, Lin Song, Jianjun Dai, Xianying |
| Verschenen in: |
SILICON |
| Paginering: | Jaargang 16 () nr. 4 pagina's 1501-1508 |
| Jaar: |
2023-11-23 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Netherlands, Dordrecht |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 12 van 38 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |