Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 13 van 34 gevonden artikelen
 
 
  Effect of SF6 Plasma Etching on the Optical, Morphological and Structural Properties of SiC Films
 
 
Titel: Effect of SF6 Plasma Etching on the Optical, Morphological and Structural Properties of SiC Films
Auteur: de Almeida Maribondo Galvão, Nierlly Karinni
Godoy Junior, Armstrong
de Jesus Pereira, André Luis
Martins, Gislene Valdete
Pessoa, Rodrigo Sávio
Maciel, Homero Santiago
Fraga, Mariana Amorim
Verschenen in: SILICON
Paginering: Jaargang 15 () nr. 18 pagina's 7745-7754
Jaar: 2023-08-10
Inhoud:
Uitgever: Springer Netherlands, Dordrecht
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 13 van 34 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland