|
Ultra-Thin Silicon Wafers Fabrication and Inverted Pyramid Texturing Based on Cu-Catalyzed Chemical Etching |
|
|
|
Titel: |
Ultra-Thin Silicon Wafers Fabrication and Inverted Pyramid Texturing Based on Cu-Catalyzed Chemical Etching |
Auteur: |
Omer, Altyeb Ali Abaker He, Zudong Hong, Shihao Chang, Yuanchih Yu, Jie Li, Shaoyuan Ma, Wenhui Liu, Wen El Kolaly, Wael Chen, Ran |
Verschenen in: |
SILICON |
Paginering: |
Jaargang 13 () nr. 2 pagina's 351-359 |
Jaar: |
2020-03-10 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer Netherlands, Dordrecht |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|