|
Laser annealing of SiO2 film deposited by ICPECVD for fabrication of silicon based low loss waveguide |
|
|
|
Titel: |
Laser annealing of SiO2 film deposited by ICPECVD for fabrication of silicon based low loss waveguide |
Auteur: |
Wang, Ya’nan Luo, Yi Sun, Changzheng Xiong, Bing Wang, Jian Hao, Zhibiao Han, Yanjun Wang, Lai Li, Hongtao |
Verschenen in: |
Frontiers of optoelectronics in China |
Paginering: |
Jaargang 9 (2016) nr. 2 pagina's 323-329 |
Jaar: |
2016 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Higher Education Press, Beijing |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|