|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 13 van 26 gevonden artikelen
| Titel: |
Improved homogeneity of plasma and coating properties using a lance matrix gas distribution in MW-PECVD |
| Auteur: |
Kirchheim, Dennis Wilski, Stefan Jaritz, Montgomery Mitschker, Felix Oberberg, Moritz Trieschmann, Jan Banko, Lars Brochhagen, Markus Schreckenberg, Rabea Hopmann, Christian Böke, Marc Benedikt, Jan Arcos, Teresa de los Grundmeier, Guido Grochla, Dario Ludwig, Alfred Mussenbrock, Thomas Brinkmann, Ralf Peter Awakowicz, Peter Dahlmann, Rainer |
| Verschenen in: |
JCT Research |
| Paginering: | Jaargang 16 (2018) nr. 2 pagina's 573-583 |
| Jaar: |
2018 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 13 van 26 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |