|
248 nm imaging photolithography assisted by surface plasmon polariton interference |
|
|
|
Titel: |
248 nm imaging photolithography assisted by surface plasmon polariton interference |
Auteur: |
Tian, Man-man Mi, Jia-jia Shi, Jian-ping Wei, Nan-nan Zhan, Ling-li Huang, Wan-xia Zuo, Ze-wen Wang, Chang-tao Luo, Xian-gang |
Verschenen in: |
Optoelectronics letters |
Paginering: |
Jaargang 10 (2014) nr. 1 pagina's 24-26 |
Jaar: |
2014 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|