|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 50 gevonden artikelen
| Titel: |
A Monte Carlo study of the primary absorbed energy redistribution in X-ray lithography |
| Auteur: |
Meyer, P. Pantenburg, F. J. |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 20 (2013) nr. 10-11 pagina's 1881-1889 |
| Jaar: |
2013 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 50 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |