|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 9 van 17 gevonden artikelen
| Titel: |
Fabrication of micro-trench structures with high aspect ratio based on DRIE process for MEMS device applications |
| Auteur: |
Guo, Maoxiang Chou, Xiujian Mu, Jiliang Liu, Bing Xiong, Jijun |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 19 (2013) nr. 7 pagina's 1097-1103 |
| Jaar: |
2013 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 9 van 17 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |