|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 8 van 17 gevonden artikelen
| Titel: |
Fabrication of curved sub-micron Si structures by a combination of anisotropic etching using surfactant-added TMAH solution and FIB direct-drawn mask |
| Auteur: |
Tanaka, Hiroshi Hida, Hirotaka Sato, Kazuo |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 19 (2012) nr. 7 pagina's 1065-1067 |
| Jaar: |
2012 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 8 van 17 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |