|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 61 gevonden artikelen
| Titel: |
A dual step precision multi-DOF stage for maskless digital lithography |
| Auteur: |
Ihn, Yong Seok Ji, Sang-Hoon Moon, Hyungpil Choi, Hyouk Ryeol Koo, Ja Choon |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 18 (2012) nr. 9-10 pagina's 1741-1750 |
| Jaar: |
2012 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 61 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |