|
Experimental measurements and behavioral modeling of an electrostatically actuated bi-axial micromirror |
|
|
|
Titel: |
Experimental measurements and behavioral modeling of an electrostatically actuated bi-axial micromirror |
Auteur: |
Parrain, Fabien Megherbi, Souhil Raynaud, Gilles Mathias, Hervé Gilles, Jean-Paul Bosseboeuf, Alain Schröpfer, Gerold Faure, Nicolas Cusin, Pierre |
Verschenen in: |
Microsystem technologies |
Paginering: |
Jaargang 12 (2005) nr. 1-2 pagina's 8-14 |
Jaar: |
2005 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|