|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 15 van 18 gevonden artikelen
| Titel: |
Self-aligned 0-level sealing of MEMS devices by a two layer thin film reflow process |
| Auteur: |
Witvrouw, A. Rusu, C. Jansen, H. Gunn, R. |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 10 (2004) nr. 5 pagina's 364-371 |
| Jaar: |
2004 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 15 van 18 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |