|
Investigation of laser ablation on hybrid sol–gel material applied to kinoform etching |
|
|
|
Titel: |
Investigation of laser ablation on hybrid sol–gel material applied to kinoform etching |
Auteur: |
Neiss, E. Rehspringer, J.-L. Mager, L. Fort, A. Fontaine, J. Montgomery, P. Flury, M. Robert, S. |
Verschenen in: |
Applied physics. Part A, Materials science and processing |
Paginering: |
Jaargang 92 (2008) nr. 2 pagina's 351-356 |
Jaar: |
2008 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|