|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 28 van 37 gevonden artikelen
| Titel: |
Nanoscale gap filling for phase change material by pulsed deposition and inductively coupled plasma etching |
| Auteur: |
Ren, W. C. Liu, B. Song, Z. T. Jing, X. Z. Zhang, B. C. Xiang, Y. H. Xiao, H. B. Xu, J. Wu, G. P. Qi, R. J. Duan, S. Q. Yu, Q. Q. Feng, S. L. |
| Verschenen in: |
Applied physics. Part A, Materials science and processing |
| Paginering: | Jaargang 112 (2012) nr. 4 pagina's 999-1002 |
| Jaar: |
2012 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 28 van 37 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |