|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 39 gevonden artikelen
| Titel: |
Analysis of Feature-Scale Wear in Chemical Mechanical Polishing: Modeling and Experiments |
| Auteur: |
Terrell, Elon J. Comes, Ryan B. Higgs, C. Fred |
| Verschenen in: |
Tribology letters |
| Paginering: | Jaargang 37 (2009) nr. 2 pagina's 327-336 |
| Jaar: |
2009 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, Boston |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 39 gevonden artikelen
| volgende >> |