|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 16 gevonden artikelen
| Titel: |
Delta-Doping of Monocrystalline Semiconductors by Al and Sb Implantation Using FIB Resistless Lithography |
| Auteur: |
Zhukov, V. A. Bagraev, N. T. Titov, A. I. Zhurkin, E. E. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 33 (2004) nr. 6 pagina's 362-372 |
| Jaar: |
2004 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers-Plenum Publishers, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 16 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |