|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 3 van 16 gevonden artikelen
| Titel: |
Delta-Doping of Monocrystalline Semiconductors by Al and Sb Implantation Using FIB Resistless Lithography |
| Auteur: |
V. A. Zhukov N. T. Bagraev A. I. Titov E. E. Zhurkin |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 33 (2004) nr. 6 pagina's 11 p. |
| Jaar: |
2004-11/12-/12 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic/Plenum Publishers, New York, U.S.A. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 3 van 16 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |