|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 12 van 16 gevonden artikelen
| Titel: |
Phase Formation in a Ta–Ni–N Thin Film during Its Electron-Beam Evaporation Deposition on a Heated Si(100) Substrate |
| Auteur: |
Vasiliev, A. G. Vasiliev, A. L. Zakharov, R. A. Orlikovsky, A. A. Horin, I. A. Eindou, M. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 32 (2003) nr. 5 pagina's 275-281 |
| Jaar: |
2003 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers-Plenum Publishers, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 12 van 16 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |