|
| << vorige |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 24 van 24 gevonden artikelen
| Titel: |
Wet Etching of Ion-Implanted Silicon Dioxide Monitored by Atomic-Force Microscopy |
| Auteur: |
Bukharaev, A. A. Nurgazizov, N. I. Sugonyako, A. V. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 31 (2002) nr. 2 pagina's 103-109 |
| Jaar: |
2002 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers-Plenum Publishers, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 24 van 24 gevonden artikelen
| << vorige |