|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 23 van 24 gevonden artikelen
| Titel: |
Wet Etching of Ion-Implanted Silicon Dioxide Monitored by Atomic-Force Microscopy |
| Auteur: |
A. A. Bukharaev N. I. Nurgazizov A. V. Sugonyako |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 31 (2002) nr. 2 pagina's 7 p. |
| Jaar: |
2002-03/04-/04 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic/Plenum Publishers, New York, U.S.A. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 23 van 24 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |