|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 8 van 14 gevonden artikelen
| Titel: |
Contact TiSi2and Barrier TiN Layers for ULSI Multilevel Metallization |
| Auteur: |
Vasiliev, A. G. Orlikovsky, A. A. Rodatis, V. V. Horin, I. A. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 31 (2001) nr. 1 pagina's 7-12 |
| Jaar: |
2001 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers-Plenum Publishers, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 8 van 14 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |