|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 5 van 14 gevonden artikelen
| Titel: |
Chemical Vapor Deposition of Silicon Oxynitride Films onto Silicon by the Pyrolysis of Hexamethyl Disilazane with Nitrogen-Containing Additives |
| Auteur: |
O. N. Mittov N. I. Ponomareva I. Ya. Mittova M. N. Bezryadin |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 31 (2001) nr. 1 pagina's 8 p. |
| Jaar: |
2001-01/02-/02 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic/Plenum Publishers, New York, U.S.A. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 5 van 14 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |