|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 16 van 18 gevonden artikelen
| Titel: |
The Effect of Contact Window Cleaning and Doping in BF3+ H2and BF3+ H2+ CF4Plasmas on the Mo–p+-Si Contact Resistance |
| Auteur: |
Snitovskii, Yu. P. Sen'ko, S. F. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 30 (2001) nr. 5 pagina's 335-338 |
| Jaar: |
2001 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers-Plenum Publishers, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 16 van 18 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |