|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 12 van 18 gevonden artikelen
| Titel: |
Reactive Ion-Beam Etching of Thick Polyimide Layers in an Oxygen + Argon Mixture |
| Auteur: |
Stognij, A. I. Timoshkov, Yu. V. Orekhovskaya, T. I. Koryakin, S. V. Lobko, E. V. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 30 (2001) nr. 5 pagina's 330-334 |
| Jaar: |
2001 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers-Plenum Publishers, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 12 van 18 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |