|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 11 van 18 gevonden artikelen
| Titel: |
Reactive Ion-Beam Etching of Thick Polyimide Layers in an Oxygen Argon Mixture |
| Auteur: |
A. I. Stognij Yu. V. Timoshkov T. I. Orekhovskaya S. V. Koryakin E. V. Lobko |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 30 (2001) nr. 5 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2001-09/10-/10 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic/Plenum Publishers, New York, U.S.A. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 11 van 18 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |