|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 6 van 10 gevonden artikelen
| Titel: |
Plasma Characteristics and Antenna Electrical Characteristics of an Internal Linear Inductively Coupled Plasma Source with a Multi-Polar Magnetic Field |
| Auteur: |
Kim, Kyong Nam Lim, Jong Hyeuk Park, Jung Kyun Yeom, Geun Young Lee, Sung Hee Lee, Jae Koo |
| Verschenen in: |
Plasma chemistry and plasma processing |
| Paginering: | Jaargang 28 (2007) nr. 1 pagina's 147-158 |
| Jaar: |
2007 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, Boston |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 6 van 10 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |