|
Defect generation mechanism in magnetron sputtered metal films on PMMA substrates |
|
|
|
Titel: |
Defect generation mechanism in magnetron sputtered metal films on PMMA substrates |
Auteur: |
Liu, Junshan He, Liufeng Xu, Zheng Zhao, Xinyue Zhang, Yue Xue, Riye Ma, Guojun Song, Mancang Wang, Liding |
Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
Paginering: |
Jaargang 30 (2019) nr. 16 pagina's 14847-14854 |
Jaar: |
2019 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, New York |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|