|
Improvement of crystal quality and UV transparence of dielectric Ga2O3 thin films via thermal annealing in N2 atmosphere |
|
|
|
Titel: |
Improvement of crystal quality and UV transparence of dielectric Ga2O3 thin films via thermal annealing in N2 atmosphere |
Auteur: |
Liu, Yuanda Xia, Xiaochuan Liang, Hongwei Zhang, Hezhi Bian, Jiming Liu, Yang Shen, Rensheng Luo, Yingmin Du, Guotong |
Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
Paginering: |
Jaargang 23 (2011) nr. 2 pagina's 542-545 |
Jaar: |
2011 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, Boston |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|