|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 23 van 45 gevonden artikelen
| Titel: |
Low-temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition of tungsten and tungsten nitride |
| Auteur: |
Bain, M. F. Armstrong, B. M. Gamble, H. S. |
| Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
| Paginering: | Jaargang 14 (2003) nr. 5-7 pagina's 329-332 |
| Jaar: |
2003 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers, Boston |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 23 van 45 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |