|
Electrical characterization of shallow cobalt-silicided junctions |
|
|
|
Titel: |
Electrical characterization of shallow cobalt-silicided junctions |
Auteur: |
Simoen, E. Poyai, A. Claeys, C. Lukyanchikova, N. Petrichuk, M. Garbar, N. Czerwinski, A. Katcki, J. Ratajczak, J. Gaubas, E. |
Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
Paginering: |
Jaargang 12 (2001) nr. 4-6 pagina's 207-210 |
Jaar: |
2001 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers, Boston |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|