|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 26 gevonden artikelen
| Titel: |
An optimization of tungsten plug chemical mechanical polishing (CMP) using different consumables |
| Auteur: |
Lee, Woo-Sun Kim, Sang-Yong Seo, Yong-Jin Lee, Jong-KooK |
| Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
| Paginering: | Jaargang 12 (2001) nr. 1 pagina's 63-68 |
| Jaar: |
2001 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers, Boston |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 26 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |