|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 3 van 26 gevonden artikelen
| Titel: |
An optimization of tungsten plug chemical mechanical polishing (CMP) using different consumables |
| Auteur: |
Woo-Sun Lee Sang-Yong Kim Yong-Jin Seo Jong-KooK Lee |
| Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
| Paginering: | Jaargang 12 (2001) nr. 1 pagina's 6 p. |
| Jaar: |
2001-01 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers, Boston, U.S.A |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 3 van 26 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |