|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 5 van 23 gevonden artikelen
| Titel: |
Electrical characterization of ECR enhaced deposited silicon nitride bilayers for high quality Al/SiNx/InP MIS structure fabrication |
| Auteur: |
Duen~as, S. Pela´ez, R. Casta´n, E. Pinacho, R. Quintanilla, L. Barbolla, J. Ma´rtil, I. Redondo, E. Gonza´lez-Di´az, G. |
| Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
| Paginering: | Jaargang 10 (1999) nr. 5-6 pagina's 373-377 |
| Jaar: |
1999 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers, Boston |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 5 van 23 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |