Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 17 van 19 gevonden artikelen
 
 
  The oxide electrochemistry of ruthenium and its relevance to trench liner applications in damascene copper plating
 
 
Titel: The oxide electrochemistry of ruthenium and its relevance to trench liner applications in damascene copper plating
Auteur: Burke, L. D.
Naser, N. S.
Sharna, R.
Verschenen in: Journal of applied electrochemistry
Paginering: Jaargang 38 (2007) nr. 3 pagina's 377-384
Jaar: 2007
Inhoud:
Uitgever: Springer Netherlands, Dordrecht
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 17 van 19 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland