|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 17 van 19 gevonden artikelen
| Titel: |
The oxide electrochemistry of ruthenium and its relevance to trench liner applications in damascene copper plating |
| Auteur: |
Burke, L. D. Naser, N. S. Sharna, R. |
| Verschenen in: |
Journal of applied electrochemistry |
| Paginering: | Jaargang 38 (2007) nr. 3 pagina's 377-384 |
| Jaar: |
2007 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Netherlands, Dordrecht |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 17 van 19 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |