|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 13 gevonden artikelen
| Titel: |
On the nature of defects and mechanism of their formation in thin borophosphosilicate glass layers produced by vapor deposition upon fabrication of integrated circuits |
| Auteur: |
Vasil’ev, V. Yu. |
| Verschenen in: |
Glass physics and chemistry |
| Paginering: | Jaargang 26 () nr. 2 pagina's 93-103 |
| Jaar: |
2007-10-22 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Nauka/Interperiodica, Moscow |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 13 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |