|
Plasma-enhanced atomic layer deposition of amorphous Ga2O3 for solar-blind photodetection |
|
|
|
Titel: |
Plasma-enhanced atomic layer deposition of amorphous Ga2O3 for solar-blind photodetection |
Auteur: |
Fan, Ze-Yu Yang, Min-Ji Fan, Bo-Yu Mavrič, Andraž Pastukhova, Nadiia Valant, Matjaz Li, Bo-Lin Feng, Kuang Liu, Dong-Liang Deng, Guang-Wei Zhou, Qiang Li, Yan-Bo |
Verschenen in: |
Journal of electronic science and technology |
Paginering: |
Jaargang 20 () nr. 4 pagina's p. |
Jaar: |
2022 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
University of Electronic Science and Technology of China |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|